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"삼성·SK하이닉스 반도체 핵심기술 中 유출"… 檢 17명 기소

HKMG, 반도체 세정 레시피 등 유출, 중국 수출용 장비도 개발
10나노급 D램 반도체 제조 공정의 핵심 기술, 반도체 초임계 세정 장비 수출 차단

 

【 청년일보 】 검찰이 삼성전자와 SK하이닉스의 반도체 관련 핵심 기술을 중국 경쟁업체에 유출한 반도체 장비업체 관계자 17명을 재판에 넘겼다.

 

서울중앙지방검찰청 영업비밀유출·정보통신범죄전담부(부장검사 조상원)는 지난 26일 국가정보원과 함께 SK하이닉스 협력업체 A사의 연구소장과 영업그룹장을 산업기술보호법 위반, 부정경쟁방지법위반(영업비밀 국외누설 등) 등의 혐의로 구속기소했다고 밝혔다.

 

또한, 삼성전자 자회사인 세메스의 반도체 세정장비 도면 등을 빼돌린 뒤 중국 수출용 반도체 장비 개발에 사용한 A사의 공정그룹장과 공장장, 또 다른 협력업체 대표 등 3명을 산업기술보호법위반죄 등으로 구속기소하고 이들에 협력한 A사 임직원 등 12명을 불구속기소했다.

 

검찰에 따르면 이번에 유출된 기술은 하이K메탈게이트(HKMG)와 반도체 세정 레시피 등이다. HKMG는 D램 반도체의 성능을 향상하기 위해 전도율이 높은 신소재를 사용한 최신 반도체 제조공정 기술이다. 반도체 세정 레시피는 반도체 세정 단계에서 사용하는 화학 물질의 배합비, 분사 순서, 압력 등에 대한 기술이다. 이 기술들은 10나노급 D램 반도체 제조 공정의 핵심 기술이다.

 

이들은 SK하이닉스와 협업 과정에서 접한 기술을 2018년 8월부터 2020년 6월까지 중국 반도체 경쟁업체로 유출했다. 또한, 세메스 전직 직원을 통해 몰래 취득한 초임계 세정장비 도면 등 반도체 첨단기술과 영업비밀을 활용해 중국 수출용 장비도 개발했다.

 

검찰은 국정원 산업기밀보호센터로부터 국내 반도체 핵심 기술이 중국 반도체 업체에 유출된 정황이 있다는 정보를 받고 수사에 착수했다. 혐의 확인을 통해 HKMG 반도체 제조 기술의 추가 유출을 막고, 유출 기술을 사용해 만든 반도체 초임계 세정 장비의 중국 수출도 차단했다.

 

검찰 관계자는 "기술 유출 사건 등 전문 분야 수사 역량을 지속 강화해 대한민국 기간산업의 첨단기술 유출 사범에 엄정 대응하겠다"고 밝혔다.

 

【 청년일보=박준영 기자 】

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